极测设备的智能化设计为干涉仪的稳定运行增添强力保障:数据全流程可溯:实时记录并图形化显示温度、湿度等关键环境参数变化曲线,数据自动存储并支持表格导出。设备运行状态、故障事件完整记录,为科研数据的溯源分析、生产质量管理提供坚实、透明的依据。智能闭环监控:内置自动安全保护系统,异常情况即时响应,故障自动处理机制确保设备 7x24 小时无忧运行。远程协助功能极大缩短故障排除时间,蕞大限度保障干涉仪测量工作的连续性。
匠心灵活设计:按需定制无惧干扰灵活部署:采用可拆卸铝合金框架结构,大型设备现场轻松组装,大幅节省安装成本和时间。坚固美观:高质量钣金箱体坚固耐用,外观颜色可按需定制,完美融入现代化实验室环境。静谧运行:应用 EC 风机与高效隔音材料,运行噪音低于 45dB,营造安静专注的工作氛围,避免噪音对精密操作和干涉仪调试产生干扰。
洁净室内需配置无尘空气过滤与流通系统,保证气流分布合理,无死角,使洁净空气充分到达每个角落。山东精密温控制造
极测(南京)技术有限公司的精密水冷冷冻水机组融合多项专li技术,打造超精密温控关键能力:高精密控温技术:动态平衡的 “神经中枢”机组搭载自主研发高精度温度采集模块,实时捕捉供水温度数据并传输至控制器,通过冷冻水阀无级调节与电加热器协同工作,结合PID 算法及逐级控温专li技术实现温度偏差的精zhun计算与动态调节。例如,在半导体极紫外光刻工艺中,该技术可将精密水冷冷冻水机组的出水温度波动控制在±0.001℃,满足纳米级制造对温度稳定性的严苛要求。山东精密温控制造极测(南京)致力于为芯片半导体、电子信息、光学仪器、精密制造、新能源等行业提供高精密环境解决方案。
极测的精密温控箱罩专为满足三坐标测量仪等精密设备的严苛环境需求而设计。其具备的 ±0.002℃高精密温度控制能力,犹如为三坐标测量仪构建了一个恒温 “堡垒”。精密温控箱罩运用自主研发的高精密控温技术,确保精密温控箱罩内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。保证测量仪在长时间运行过程中始终保持稳定的测量精度,实现0.1% 的控制输出精度。除了温度控制,精密温控箱罩在湿度和洁净度方面同样表现。精密温控箱罩内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,避免了因湿度问题导致的测量仪零部件生锈、电子元件短路等故障,延长了设备使用寿命。同时,该系统可实现百级以上洁净度控制,内部洁净度蕞高可优于 ISO class3(设备工作区),有效防止灰尘等微小颗粒附着在测量仪的光学部件或被测工件表面,避免对测量精度造成干扰。
极测(南京)专注精密环境控制解决方案,现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景。目前,高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,比如温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等,持续领跑超高精密环控技术革新。当前半导体行业处于快速发展与技术迭代的关键期,本土供应链的完善与升级至关重要。极测(南京)技术此次业绩表现,不仅标志着公司在市场拓展与业务运营上实现突破,展现出强劲的增长态势,更体现了其在半导体精密环控领域的核心竞争力持续提升,为后续发展奠定了坚实基础。现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室。
极测(南京)技术有限公司采用相对湿度由外环境保证,大环境控制空气中的绝dui含湿量保持稳定,以实现环境仓内部湿度稳定性。其超精密环控舱内部构造先进,包括分区送风静压腔、分区回风流道、毫 K 级测温采集模组 + 1/10Bpt100 矩阵式分布、中低频吸 / 阻静音设计方案等。自研高精密温控技术,冷冻水的出水温度蕞高精度可达 ±0.002℃。
在温度控制方面,采用大风量小温差的设计思想,通过快速循环空气过滤并带走热量,使温度波动处于极低数值,关键区域可达 ±0.002℃。同时采用多级控温,将温度精度逐步提升。针对光路部分设计密闭防护罩,表面开孔可有效降低发热区域温度,控制风速。对于局部发热区域,采用局部气浴进行温度控制,确保该区域温度在一定范围内,且 30s 内的温度变化率不超过 0.03℃。
精密环控系统安装后,精度显著提高。温度稳定性从 ±2℃提升至 ±0.004℃,湿度稳定性从 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH,洁净度从 100 级提升至 10 级,噪音值从 70dB 降低至 55dB,测量误差从 400 降低至 4。
极测(南京)精密环控柜满足用户不同温湿度稳定性、洁净度,气压稳定性、抗微振、防磁、隔音等个性化需求。山东精密温控制造
半导体生产过程中使用的许多材料对湿度也非常敏感。例如,光刻胶在高湿环境下容易吸湿,影响其固化效果。山东精密温控制造
控制精度是衡量精密环控设备的关键指标,通常以温度和湿度的偏差值表示,如 ±0.1℃和 ±1% RH,偏差值越小,精密环控设备的控制能力越强。极测(南京)技术有限公司的精密环控设备运用自主研发的高精密控温技术,能达到 0.1% 的控制输出精度。同时,精密环控设备内部的温湿度均匀性也很重要,能确保各个位置的物品处于相同环境条件;而且在长时间运行中,精密环控设备的温湿度控制需保持稳定,波动范围越小越好,像极测的设备内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。 山东精密温控制造
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