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利用FFU风机过滤单元内部的风机（电机+叶轮）将空气（风）吸入，所吸收的空气（风）经过FFU下面的HEPA（高效空气过滤器）或者ULPA（超高效过滤器）滤网，将空气中的大颗粒的尘埃微粒子过滤掉，***把新风以0.45m/s±10%的风速均匀送到洁净室。能使用FFU的无尘室一般来说，都是洁净度在千级以上的。其基本结构是空气首先经过MAU（首、次过滤，初中效过滤器）进入无尘室顶部，再通过FFU（二次过滤，HEPA或ULPA）将风送进无尘室内，送下来的风通过高架地板，再进入回风箱送到无尘室顶部。
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